De technologie voor Trench Etched Resonant Pressure (TERPS) van GE is nu toegepast in een reeks nieuwe druksensoren van GE Measurement&Control. De RPS 8000 en de DPS 8000 silicium resonante druksensoren bieden een nauwkeurigheid en stabiliteit die wel een factor tien hoger is dan bestaande piëzoresistieve druksensoren. De nieuwe sensoren vergroten het drukbereik aanzienlijk in vergelijking met sensoren met conventionele resonerende druktechnologie (RPT, resonating pressure technology). Het onderscheid is dat de nieuwe sensoren fysiek worden gescheiden van het medium middels een metalen isolatiediafragma en een met olie gevulde kamer, waardoor een robuuste afscherming van de sensor mogelijk is en daardoor in de zwaarste toepassingen gebruikt kunnen worden. Om aan specifieke wensen te voldoen, is een grote selectie van elektrische en procesaansluitingen verkrijgbaar. De typische toepassingen voor deze nauwkeurige en stabiele sensortechnologie reiken van lucht- en ruimtevaart, marine en subseatoepassingen en proces, metrologie en industriële instrumentatie.
Ian Abbott, product manager voor druksensoren, legt het als volgt uit, “Via onze Druck-productlijn hebben wij gedurende enkele jaren een resonant silicium-product, de RPT-serie, kunnen aanbieden. De nieuwste TERPS-technologie heeft na uitgebreid onderzoek en ontwikkeling binnen GE in samenwerking met universiteiten, geleid tot het ontwerp van resonerende druksensoren van silicium. De RPS 8000- en DPS 8000-sensoren gebruiken deze technologie en omvatten alle inherente functies van resonant silicium. Ze hebben echter een aanzienlijk bredere specificatie op het gebied van het drukbereik (tot 70 bar), temperatuursbereik (-40°C tot +85°C) en betere behuizing. Daarnaast worden de levertijden van de producten aanzienlijk verbeterd, dankzij de bulk-microbewerking van het silicium, een technologie die wij van onze Advanced Sensor divisie hebben overgenomen. “
De DPS 8000 gebruikt een geïntegreerde microprocessor met RS485/RS232-uitgang om direct een digitaal signaal aan te bieden. De RPS 8000 levert een TTL-frequentie-output en mV-temperatuursmeting van een geintegreerde temperatuursdiode. Deze kunnen in digitale apparatuur worden gecombineerd om een drukuitlezing te verzorgen. De RPS 8000 is ideaal voor OEM`s en systeemontwikkelaars die stabiele drukmetingen en hoge nauwkeurigheid willen integreren in hun specifieke toepassing.
