Bronkhorst High Tech B.V heeft het productenpakket uitgebreid met een nieuwe serie ”Vapor Delivery Modules”, kortweg VDM. Deze compacte systemen bevatten een (thermische of coriolis) vloeistof regelaar, één of twee gas Mass Flow Controllers voor het regelen van de draaggas en een temperatuurgeregelde mix- en verdampunit. De modules zijn voorzien van een TFT kleurendisplay met drukknoppen voor het instellen en uitlezen van de unit. De VDM is tevens uitgevoerd met een RS232 of Flowbus uitgang voor digitale communicatie.
Optioneel kan de unit worden uitgebreid met een extra Mass Flow Controller voor het namengen van gas en met een lokale of op afstand bedienbare temperatuurregeling voor tracing.
De compacte ‘Plug and Work’ modules kunnen een dampflow (van verzadigde damp) genereren in een range van 100 mln/min tot 10 ln/min. De toegepaste Controlled Evaporation Mixing (CEM) technologie is geschikt voor atmosferische en vacuüm processen en is in staat een grote verscheidenheid aan vloeistoffen en mixen homogeen te verdampen.
De VDM modules zijn bij uitstek geschikt voor toepassing in de ‘vapor deposition’ en coating processen in de semicon-, display- en zonnecelproductie. Daarnaast kan het worden toegepast bij de kalibratie van analytische instrumenten zoals gaschromatografen en massaspectrometers en voor het bevochtigen van brandstofcellen.
Meer zien
